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清洗质量：INC无mura、水痕、锈斑、脏污，无损伤

平坦度：百微米级

Total Pitch变化：微米级

Defect数量：10ea

搬送重复精度：毫米级

温度稳定性：±1°（60°以内）

超声波：4波段复频超声波，频率可自由切换

             球面波超声技术，无死角