门徒娱乐先后完成了从G2.5到G8.6及以上尺寸ITO、IGZO、Ag、Mo、Al、Cu、Rework等各工艺类型湿制程刻蚀机设备的自主研发,AMOLED湿法刻蚀机荣获江苏省首台(套)重大装备认证,打破了国外企业的垄断,稳定了平板显示设备供应链。
适用工艺:ITO刻蚀、IGZO刻蚀、Ag刻蚀、Mo刻蚀、Al刻蚀、Cu刻蚀、Rework等
工艺能力:1.Within Glass、Glass To Glass、Lot To Lot;
2.No Mura, No Roller Mark, No Contamination and No Scratch;
3.CD Uniformity;
4.CD Loss;
5.Low Running Cost。
刻蚀效果: