5.0m/min高带速大产能链式单面去PSG清洗机设备
1、适用工艺:TOPCon、PERC
2、HF槽有效长度:2.0~2.3米
3、轨道数:12道182;10道210
4、额定带速:4.5~5.0m/min
5、设备产能:182:≥16000片/小时;210:≥12500片/小时
6、设备特点:
1)高带速精准带液刻蚀滚轮滚轮,有效避免翻液及过刻;
2)精细化智能化动力水膜控制,无极控速控流,精密控制水膜量;
3)多匀流+多流道精确流体流场设计,液面更稳定;
4)多区流体液面控制,精确控制刻蚀阶段液面高度;
5)超级风刀,高带速吹干效果稳定
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