链式去BSG清洗机
5.0m/min高带速大产能链式单面去BSG清洗机设备
1、适用工艺：TOPCon
2、HF槽有效长度：4.6米
3、轨道数：12道182；10道210
4、额定带速：4.5~5.0m/min
5、设备产能：182:≥16000片/小时；210:≥12500片/小时
6、设备特点：
1）高带速精准带液刻蚀滚轮滚轮，有效避免翻液及过刻；
2）精细化智能化动力水膜控制，无极控速控流，精密控制水膜量；
3）多匀流+多流道精确流体流场设计，液面更稳定；
4）多区流体液面控制，精确控制刻蚀阶段液面高度；
5）超级风刀，高带速吹干效果稳定
6）...
