被清洗件规格:12英寸圆片,花篮规格(350mm×217×mm×310mm)产能:1篮/批,13片/批节拍:0~9min可调 工艺流程:上料—显影---QDR—CDA干料—下料控制:采用触摸屏+PLC控制安全保护:具有液位保护、漏电漏液保护、加...
被清洗件规格:12英寸圆片,花篮规格(350mm×217×mm×310mm)
产能:1篮/批,13片/批
节拍:0~9min可调
工艺流程:上料—显影---QDR—CDA干料—下料
控制:采用触摸屏+PLC控制
安全保护:具有液位保护、漏电漏液保护、加热循环保护等
骨架:国产优质Q235A骨架外包3mm厚PP-W板保护
外壳:10mm厚德国劳士领PP-W板焊接而成
台面:10mm厚德国劳士领PP-W板,表面钻φ12圆孔
管路:管路位于机台下/后部,管道采用PP和PFA管路相互配合使用